ГОСТ 26239.0-84

ГОСТ 26239.0-84 Кремній напівпровідниковий, вихідні продукти для його одержання та кварц. Загальні вимоги до методів аналізу

ГОСТ 26239.0-84

Група В59

ДЕРЖАВНИЙ СТАНДАРТ СПІЛКИ РСР

КРЕМНІЙ НАПІВПРОВІДНИКОВИЙ, ВИХІДНІ ПРОДУКТИ ДЛЯ ЙОГО ОТРИМАННЯ І КВАРЦ

Загальні вимоги до методів аналізу

Семінд. General requirements for methods of analysis

ОКСТУ 1709

Строк дії з 01.01.86
до 01.01.91*
_________________________________
* Обмеження терміну дії знято
за протоколом N 7-95 Міждержавної Ради
зі стандартизації, метрології та сертифікації
(ІВД N 11, 1995 рік). - Примітка виробника бази даних.

Розроблено Міністерством кольорової металургії СРСР

ВИКОНАВЦІ

Ю.А.Карпов , М.М. Щулепніков , М.К. Вінніков , Г.Г. Головін , Н.А. А. Крилов , І. А. Кузовлєв , Н. І. Маруніна , В. Р. Міскар'янц , В. М. Михайлов , М. Р. Назарова , В. А. Орлова , А. І. Степанов , Н. С. Сисоєва , В. І. Фірсов , Г. І. Олександрова

ВНЕСЕН Міністерством кольорової металургії СРСР

Член Колегії А. П. Снурніков

ЗАТВЕРДЖЕНИЙ І ВВЕДЕНИЙ У ДІЮ Постановою Державного комітету СРСР за стандартами від 13 липня 1984 р. N 2490

1. Цей стандарт встановлює загальні вимоги до методів аналізу напівпровідникового кремнію, вихідних продуктів для його одержання (технічний кремній, чотирихлористий кремній, хлорсилани, двоокис кремнію) та кварцу.

2. Загальні вимоги до методів аналізу за ГОСТ 26239.0-84 (СТ РЕВ 314-76).

3. Відбір та підготовку проб до аналізу проводять за нормативно-технічною документацією.

4. Аналізовані проби та матеріали, що використовуються для приготування зразків порівняння та стандартних розчинів, зважують з похибкою не більше 0,0002 г.

5. Для взяття навішування використовують аналітичні лабораторні ваги типу ВЛА-200-М або ВЛР-20Г, технічні ваги ВПТ-1, торсіонні ваги ВТ-500 за ГОСТ 13718-68 або аналогічних типів.

6. Для нагрівання розчинів застосовують електричну плитку із закритою спіраллю за ГОСТ 14919-83 .

7. Для приготування розчинів та проведення аналізів застосовують дистильовану воду за ГОСТ 6709-72 та реактиви кваліфікації не нижче ч.д.а., якщо не вказано іншу.

8. Для проведення аналізу застосовують мірний лабораторний посуд не нижче другого класу точності за ГОСТ 20292-74 * (бюретки, піпетки) та ГОСТ 1770-74 (циліндри, мензурки, колби), а також скляний посуд (склянки, конічні колби та ін.). ) за ГОСТ 25336-82 , тиглі порцелянові за ГОСТ 9147-80 , тиглі кварцові за ГОСТ 19908-80 **, воронки скляні ділильні та конічні за ГОСТ 25336-82 , бюкси скляні по ГОСТ 32 , посуд із скловуглецю марки СУ-2000.
________________
* На території Російської Федерації діють ГОСТ 29169-91 , ГОСТ 29227-91 -ГОСТ 29229-91, ГОСТ 29251-91 -ГОСТ 29253-91;
** На території Російської Федерації діє ГОСТ 19908-90 . - Примітка виробника бази даних.

9. Допускається застосування іншої апаратури, матеріалів, посуду та реактивів, за умови отримання метрологічних характеристик, не гірше за зазначені у відповідних стандартах на методи аналізу.

10. У стандартах на методи аналізу зазначені величини розбіжностей, що допускаються, при довірчій ймовірності 0,95 або 0,90 для кількох значень масових часток. Допустимі розбіжності для проміжних значень розраховують методом лінійної інтерполяції.

11. Перевірку правильності результатів аналізу напівпровідникового кремнію або вихідних продуктів для його отримання проводять не рідше ніж один раз на місяць і не менше раз на місяць, де - Число проб, проаналізованих за місяць, з використанням тієї ж апаратури, реактивів і матеріалів.

12. Правильність результатів аналізу контролюють засобами, зазначеними у відповідних державних стандартах на методи аналізу.

13. Вимоги безпеки під час проведення аналізів напівпровідникового кремнію та вихідних продуктів його отримання – щодо нормативно-технічної документації. Порядок та види навчання працівників безпеки праці проводять відповідно до ГОСТ 12.0.004-79*.
________________
* На території Російської Федерації діє ГОСТ 12.0.004-90. - Примітка виробника бази даних.