ГОСТ 24392-80

ГОСТ 24392-80

МІЖДЕРЖАВНИЙ СТАНДАРТ

КРЕМНІЙ І НІМЕЧЧИН МОНОКРИСТАЛІЧНІ

ВИМІР ПРИДІЛЬНОГО ЕЛЕКТРИЧНОГО ОПОРУ ЧОТИРИХЗОНДОВИМ МЕТОДОМ

Видання офіційне

БЗ 10-99

ІПК ВИДАВНИЦТВО СТАНДАРТІВ Москва

УДК 669.782/.783−172:621.317.33:006.354 Група В59

МІЖДЕРЖАВНИЙ СТАНДАРТ

КРЕМНІЙ І НІМЕЧЧИН МОНОКРИСТАЛ І ЧЕСКИ Е

ГОСТ

І).мерії питомого електричного опору ^{1 1}

чотирьох зонловим металом 24392-80

Monokrystalline silicon and germanium.

Зменшення енергетичної чутливості до надмірної проблеми метод

ОКСТУ 1770

Дата ВВС.1СНМЯ 01.01.81

Цей стандарт встановлює чотиризондовий метод вимірювання питомого електричного опору на плоскій поверхні зливків монокристалічних кремнію та германію електронного або діркового типу електропровідності в діапазоні значень питомого електричного опору від МО ^-4 Ом см до 1 10* Ом см.

Метод заснований на вимірі різниці потенціалів між двома зондами чотиризондової вимірювальної головки, встановленої на поверхні контрольованого образна, при пропусканні електричного струму певної величини через два інших точкових зонда, розташованих на тій же поверхні, і обчислення питомого електричного опору.

(Змінена редакція, Зм. № 2).

I. АПАРАТУРА ТА МАТЕРІАЛИ

Структурну схему вимірювальної установки наведено на кресленні.

4

/ - Чотиризонлова і вірильна голка: 2- Джерело пасюки кого дека:

3- прилад для наміру електричної напруги: 4- зразок

Вимірювальна установка повинна бути атестована на похибку вимірювання питомого електричного опору, що не перевищує 5%.

1.1. Вимірювальна чотиризондова головка з чотирма лінійно розташованими зондами з вольфраму карбіду повинна відповідати вимогам, наведеним у табл. 1.

Таблиця 1

© Видавництво стандартів. 1980 £> І П. К. Видавництво стандартів. 2001

С. 2 ГОСТ 24392-80

1.2. Джерело постійного струму, що забезпечує створення вимірювального ланцюга електричного струму змінної полярності, повинен відповідати вимогам, наведеним у табл. 2. Таблиця 2

1.2.1. Допустима нестабільність електричного струму за час вимірювань повинна бути не більше 0,5%.

1.2.2. Похибка вимірювання сили електричного струму – не більше 0.5%.

1.3. Прилад для вимірювання електричної напруги з похибкою не більше 1% повинен відповідати вимогам, наведеним у таблиці. 2.

1.4. Опір ізоляції вимірювальної схеми має бути не меншим за вхідний опір вимірювального приладу.

1.5. Допоміжні пристрої та матеріали

Термометр з похибкою вимірювання трохи більше 0,5 *З.

Матеріали абразивні згідно з ГОСТ 3647 .

Інструменти алмазні із застосуванням алмазних порошків згідно з ГОСТ 9206 .

Алмазні порошки.

Папір фільтрувальний за ГОСТ 12026 .

Папір промокальний.

Бязь вибілена за ГОСТ 2929 S.

Обтиральний матеріал — пакувальний, тканина арт. 6313 чи 6304.

Вода питна за ГОСТ 2874 *.

Спирт етиловий за ГОСТ 18300 .

Допускається використання інструментів та матеріалів, що не поступаються вищезазначеним за своїми характеристиками та якістю.

2. ПІДГОТОВКА ЗРАЗКІВ І УМОВИ ПРОВЕДЕННЯ ВИМІРЮВАНЬ

2.1. Вимірювання проводять на плоских поверхнях, що мають параметр шорсткості R _a ГОСТ 2789 не більше 2.5 мкм. Вимірювання питомого електричного опору кремнію р-типу електропровідності з р більше 10 ^J Ом см проводять на плоских поверхнях з параметром шорсткості R в діапазоні (20

2.1. Для забезпечення необхідної шорсткості поверхні образні шліфують абразивними матеріалами або інструментами алмазними із застосуванням алмазних порошків.

2.1.2. Після шліфування зразки промивають проточною питною або очищеною технічною водою, сушать фільтрувальним (промокальним) папером або іншими матеріалами та знежирюють спиртом.

2.2. При проведенні вимірювань відстань між краєм (кордоном площини) та найближчим до нього зондом має бути не менше _{4/0, де /0 –} номінальне значення міжзондової відстані.

2.3. При вимірюванні питомого електричного опору по утворюючому зливку ширина вимірювальної доріжки повинна бути не менше _6/0 .

2.4. Вимірювання виконують за фіксованої температури (23±2) 'З. Контрольовані образні доводять до температури, за якої проводять вимірювання. Допускається проведення вимірювання.

1

На території Російської Федерації діє ГОСТ Р 51232-98.

ГОСТ 24392-80 С. 3

ній при фіксованій з похибкою ±0,5 'З температурі в діапазоні (23±5) «З, виконуючи температурну корекцію результатів вимірювань відповідно до додатку.

2.5. Вимірювання питомого електричного опору германію з більш 45 Омсм і кремнію з р більше 200 Ом см виконують при затемненні зразка. Для інших діапазонів питомого електричного опору допускається освітленість зразків розсіяним світлом трохи більше 500 лк.

3. ПРОВЕДЕННЯ ВИМІРЮВАННЯ ТА ОБРОБКА РЕЗУЛЬТАТІВ

3.1. На поверхню зразка, встановленого у тримач, плавно опускають зонди вимірювальної головки перпендикулярно поверхні.

3.2. Через зразок пропускають електричний струм / та вимірюють значення різниці потенціачів між внутрішніми потенційними зондами при двох полярностях електричного струму. За результат вимірювання різниці потенціалів U приймають середнє арифметичне отриманих значень. Значення електричного струму встановлюють відповідно до вимог табл. 2.

3.3. Обчислюють значення питомого електричного опору р Ом см за формулою (1)

де U - значення різниці потенціалів. В:

/ - Значення електричного струму, при якому проводили вимірювання. Л;

/, фф - ефективне значення міжзондової відстані, що обчислюється за формулою (2)

(2)

де /, / ₂ , / ₃ — відстані між першим і другим, другим і третім, третім та четвертим зондами

відповідно.

При використанні чотиризондової головки, у якої відхилення міжзондової відстані від номінального значення / ₀ не перевищує ±1%, формулу (2) підставляють значення / = / ₀ .

3.4. Допускається проведення вимірювань та обробка результатів з використанням засобів автоматизації за алгоритмом, викладеним у цьому стандарті.

Розд. 1-3. (Змінена редакція, Зм. № 2).

4. ПОДАННЯ РЕЗУЛЬТАТІВ ВИМІРЮВАНЬ І НОРМИ НА ПОКАЗНИКИ ТОЧНОСТІ

4.1. Результатом вимірювання питомого електричного опору є величина, обчислена за формулою (I).

4.2. Випадкова складова похибки вимірювання питомого електричного опору, що характеризує схильність результатів вимірювань, не перевищує ±2% при довірчій ймовірності Р = 0.95.

4.3. Сумарна похибка виміру не перевищує ±5% при контролі зразків з р<10 ³ Ом см і не перевищує ±8% при контролі зразків з питомим електричним опором більше 10 ³ Ом см при довірчій ймовірності Р = 0.95.

4.4. Результат вимірювання питомого електричного опору є тризначним числом, якщо першою цифрою є 1, 2, 3, і двозначним, якщо перша цифра більше 3.

Розд. 4. (Запроваджено додатково. Зм. № 2).

С. 4 ГОСТ 24392-80

ПРИКЛАДНА ПРОГРАМА

Обов'язкове

Результат виміру питомого електричного опору призводять до температури ^ = 23 'З за формулою

Рг (3)

⁰ *! - З (/-%) '

де р — питомий електричний опір. Ом див;

З-температурний коефіцієнт (табл. 1, 2);

/ - Номінальна температура в діапазоні (23±5) ⁴ С; р, - питомий електронний опір при 23 'С. ^г *

Результат вимірювання питомого електричного опору може бути приведений до будь-якої номінальної температури у межах діапазону (23±5) «С.

Таблиця I

Таблипа 2

ПРИКЛАДНА ПРОГРАМА. (Змінена редакція, Зм. № 2).

ГОСТ 24392-80 С. 5

ІНФОРМАЦІЙНІ ДАНІ

1. Розроблено та внесено Міністерством металургії СРСР

2. ЗАТВЕРДЖЕНИЙ І ВВЕДЕНИЙ У ДІЮ Постановою Державного комітету СРСР за стандартами від 15.09.80 № 4705

3. ГОСТ 24392-80 відповідає СТ РЕВ 1250-78

4. ВВЕДЕНО ВПЕРШЕ

5. ПОСИЛОЧНІ НОРМАТИВНО-ТЕХНІЧНІ ДОКУМЕНТИ

6. Обмеження терміну дії знято за Протокол) № 5-94 Міждержавної Ради, але стандартизації. метрології та сертифікації (МКС 11-12-94)

7. ВИДАННЯ (березень 2001 р.) зі Змінами № I, 2, затвердженими у травні 1985 р., нюні 1990 р. (ІВД 8-85, 10-90)

Редактор Т. П. Шашипа Технічний редактор Л. Л. Гусгша Коректор В. Є. Нестерова Комп'ютерна верстка Л.А. Круговий

Над. осіб. N: 1) 2354 від 1-1.07.2000. Здано в набір 10.04.2001 . Підписано до друку 20.04.2001 . Уел. піч. л. 0,93.

Уч. * ітл. я. 0,50. Тираж 117 ж. З 816. Зак. 455.

ІПК Видавництво стандартів 107076. Москва. Колодязь пер… 14.

Наордіо і Видавництві на ПЕОМ Філія ІПК І тдсльство стандартів - тип. «Московський друкар*. 103062. Москва. Лялін пер… 6.

Плр 0S0I02